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掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope)的優(yōu)點有哪些?

作者:上海豫光 來源:未知 日期: 2010-12-03 10:20:26
導(dǎo)讀:什么是掃描電子顯微鏡?掃描電子顯微鏡(ScanningElectronMicroscope)是應(yīng)用電子束在樣品表面掃描激發(fā)二次電子成像的電子顯微鏡。主要用于研究樣品表面的形貌與…

什么是掃描電子顯微鏡

    掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope)是應(yīng)用電子束在樣品表面掃描激發(fā)二次電子成像的電子顯微鏡。主要用于研究樣品表面的形貌與成分。

掃描電子顯微鏡有哪些優(yōu)點?

    1、電子束對樣品的損傷與污染程度較;

    2、在觀察形貌的同時,還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區(qū)成分分析;

    3、樣品制備過程簡單,不用切成薄片;

    4、能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),樣品的尺寸可大至120MM×80MM×50MM;

    5、樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn),因此,可以從各種角度對樣品進行觀察;

    6、景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍;

    7、圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高?煞糯笫畮妆兜綆资f倍,它基本上包括了從放大鏡、光學顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學顯微鏡與透射電鏡之間,可達3NM。



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