測量范圍:
X向行程:200㎜ 圓工作臺直徑:φ213㎜
Y向行程:100㎜ 平工作臺尺寸(㎜):260×270
測角目鏡角度分劃范圍:360° 頂針間的最大夾緊長度:700㎜
螺紋輪廓目鏡角度分劃范圍:±7° 頂針間能容納的最大直徑:φ100㎜
圓工作臺角度分劃范圍:0°~360° 高頂針架最大夾緊長度:200㎜
圓分度頭角度分劃范圍:0°~360° 高頂針架能容納的最大直徑:φ250㎜
主顯微鏡立柱的傾斜范圍:±12° 干涉狹縫旋轉范圍:±90°
分度值:X、Y向分度值:0.0002㎜ 圓工作臺角度分度值:30″
測角目鏡角度分度值:1′ 圓分度頭角度分度值:1′
輪廓目鏡角度分度值:±12 主顯微鏡立柱傾斜角度分度值:30′
測量準確度(被測件與儀器溫度差別不大于0.5℃,儀器室內溫度20℃±1℃):
(1+L/100)μm,其中L為測量長度,單位:㎜
物鏡放大率,工作距離及視場直徑:
物鏡放大率 |
總放大率 |
工作距離(㎜) |
視場直徑(㎜) |
1 × |
10 × |
≈ 79 |
≈ 26.70 |
3 × |
30 × |
≈ 69 |
≈ 6.7 |
5 × |
50 × |
≈ 49 |
≈ 4 |
光學定位器的主要技術參數(shù):
測桿垂直方向擺動范圍:±3° 定位變動性:<1μm
孔徑大于5㎜時,可測孔的最大深度:≈15㎜ 測力(N):0.1±0.03
測量范圍(㎜):5-200
儀器主機外形尺寸(㎜)長×寬×高=1300×1250×80
儀器主機重量:450 |