在此之前，電子顯微鏡的電子源有兩種可以選擇，一種是金屬元素鎢，這種電子源最常見，使用的最頻繁，另外一種選擇是硼化鑭，硼化鑭是一種化合物，相比較鎢，硼化鑭的硬度比較高，在鎢的兩倍左右，所以一直沒有太合適的加工方法，應(yīng)用就相對少些；新的電子源的研發(fā)歷程是這樣的：研究人員使用了一種叫化學(xué)氣相堆積法的新方法進(jìn)行加工，首先制成了單結(jié)晶的六硼化鑭納米線，然后使用電界蒸發(fā)的方式除去了納米線表面的不純物質(zhì)，從而成功開發(fā)出了新型電子源。

新型的電子源的發(fā)明，讓日本在電子顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域重新奪回領(lǐng)先優(yōu)勢，有望重新占領(lǐng)美國和德國的市場，打破美國和德國的技術(shù)堡壘，新型的電子源，有望使電子顯微鏡的識別和測定能力得到飛躍式提高。