8寸晶圓顯微鏡檢測(cè)系統(tǒng)的前世今生 |
|
作者:上海豫光 來(lái)源:未知 日期:
2010-10-12 11:47:33 |
導(dǎo)讀:8寸晶圓顯微檢測(cè)系統(tǒng)是一款新型機(jī)械手,由北京自動(dòng)化技術(shù)研究院主持研究,歷時(shí)六個(gè)月,在研發(fā)過(guò)程中,做了很多改進(jìn),像機(jī)械設(shè)計(jì)、軟件設(shè)計(jì)、電路設(shè)計(jì)和氣路設(shè)計(jì)的… |
8寸晶圓顯微鏡檢測(cè)系統(tǒng)是一款新型機(jī)械手,由北京自動(dòng)化技術(shù)研究院主持研究,歷時(shí)六個(gè)月,在研發(fā)過(guò)程中,做了很多改進(jìn),像機(jī)械設(shè)計(jì)、軟件設(shè)計(jì)、電路設(shè)計(jì)和氣路設(shè)計(jì)的流程和操作步驟,該項(xiàng)系統(tǒng)全部由自動(dòng)化技術(shù)研究院自主研安,具有非常高的排它性,在新型系統(tǒng)的軟件部分,實(shí)現(xiàn)了模塊化和標(biāo)準(zhǔn)化的應(yīng)用,這樣方便了工作人員進(jìn)行調(diào)試和維修,以設(shè)備斷電為例,調(diào)試人員所花時(shí)間比以前大大縮短,并且在新的軟件版本中,還對(duì)人機(jī)界面做了改善,提升了用戶體驗(yàn),使得操作者可以在友好的界面中易于操作,同時(shí)還在電子電路設(shè)計(jì)方面控制了電機(jī)和傳感器反饋給板卡的信號(hào),大大提升了操作的安全性。 |
|
|
|