1、干涉顯微鏡的主要用途和特點 |
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干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件(平面、圓柱等外表面)光潔度的儀器,也可以用來測量零件表面刻線,鍍層等深度。儀器配對各種附件,還能測量粒狀,加工紋路混亂的表面,低反射率的工件表面。同時還能將儀器安置在工件上,對大型工件表面進行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1~0.03微米,用測微目鏡和照相方法來評定▽10~▽14光潔度的表面。
本儀器適用于廠礦企業(yè)計量室,精密加工車間,也適用于高等院校,科學研究等單位。 |
2、干涉顯微鏡的技術(shù)參數(shù) |
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測量表面光潔度范圍(表面粗糙度) ▽ 10~ ▽ 14 |
工作物鏡的數(shù)值孔徑 |
0.65 |
工作距離 |
0.5毫米 |
儀器的視場 |
目視 |
φ0.25毫米 |
照相 |
0.21×0.15毫米 |
儀器的放大倍數(shù) |
目視 |
500倍 |
照相 |
168倍 |
測微目鏡放大倍數(shù) |
12.5倍 |
工作臺升程 |
5毫米 |
X、Y方向移動范圍 |
≈10毫米 |
旋轉(zhuǎn)運動范圍 |
360° |
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3、儀器成套性 |
1、儀器主體 1臺
2、10X測微目鏡 1件
3、狹縫目鏡 1件
4、V型塊 1件
5、6V、5W燈泡 6件
6、試樣夾 1件 |
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