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剪式干涉儀:JQG-1/JQG-2

 

1、剪式干涉儀的主要用途和特點

    剪式干涉儀基于平板剪切干涉原理,采用一塊具有一定厚度并帶有微量楔角的光學(xué)平板將一個具有空間相干性的波面分裂為兩個完全相同的波面,并且使這兩個波面彼此相對錯位;因為波面上各點是彼此相干的,因此在這兩個波面的重疊區(qū)將產(chǎn)生干涉(Fig. 1)。
  
  剪切平板楔角方向與剪切方向垂直。如果被檢光束完全平行,則干涉條紋平行于剪切方向;如果被檢光束會聚或發(fā)散,則條紋將發(fā)生旋轉(zhuǎn)(Fig. 2)。
用途:通過判斷能讀干涉條紋的形狀可以求出原始波面的波差分布;根據(jù)條紋相對于水平基線的旋轉(zhuǎn)角度可以計算出光束準直度。
  
  優(yōu)點:利用被測波面自身實現(xiàn)干涉,無需參考表面。

2、剪式干涉儀的工作原理

型號

JQG-1 型(簡易型)

JQG-2型(多功能型)

特點

剪切平板固定

剪切平板可轉(zhuǎn)動,帶最小格值為 1° 的度盤

剪切板

材料

通光口徑

最小可檢驗光束直徑

剪切量

楔角名義值

K9 玻璃, n=1.51466 @ l=632.8nm

50mm

15mm

7.466mm

20″

條紋旋轉(zhuǎn)靈敏度(對應(yīng)于條紋旋轉(zhuǎn) 10° 的光束準直度)

174mrad

光束準直度分辨率(與使用者經(jīng)驗有關(guān))

58mrad (對應(yīng)于條紋旋轉(zhuǎn) 3° )

19.3mrad

(對應(yīng)于條紋旋轉(zhuǎn) 1° )

外形尺寸 (mm)

144x147x110

195x124x150

 



剪式干涉儀JQG-1

多功能型2



剪式干涉儀
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多功能型1
 


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