2、
接觸式干涉儀JDS-1
的主要技術(shù)指標(biāo) |
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被測件最大長度: 150 mm
工作臺行程: 5m
分度值調(diào)整范圍:
0.05-0.2 μm
推薦使用分度值:
0.1μm
測量壓力:
(1.5±0.1)N
儀器示值穩(wěn)定性:
0.02 μm
儀器誤差:
±(0.03+3ni?λ) μm n是格 ,i是格值 , △λ 是濾光片波長 誤差
儀器體積:
280x500x700 mm
儀器重量:
40 kg
標(biāo)準(zhǔn)配件:
五筋園臺、
九筋瑪瑙臺、可調(diào)園平臺、
輔助臺、
平面測帽
小球面測帽、干涉濾光片
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