2、激光平面干涉儀的工作原理 |
本儀器工作基于雙光束等厚干涉原理。根據(jù)近代光學的研究結果,光兼有波動與微粒兩重特性。光的干涉現(xiàn)象是光的 波動性的特性。 |
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3、儀器技術參數(shù): |
1、第一標準平面(A面),不鍍膜。 工作直徑:D1=Φ146mm
不平度小于0.02μm(λ/30)。
2、第二標準平面(B面),不鍍膜。 工作直徑:D2=Φ140mm
不平度小于0.03μm(λ/20)。
3、準直系統(tǒng):孔徑F/2.8, 工作直徑:D1=Φ146mm 焦距:f=400mm.
4、測微目鏡:焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X,視場角2w=40o
成像物鏡:I、D=4.5 П、D=7 Ш、D=10 f=16 f=23 f=37
5、干涉室尺寸:深260*寬300*190mm。
6、光源規(guī)格:激光ZN18(He-Ne).
7、儀器的外形尺寸:長*寬*高 350*400*720mm。
8、儀器重量:100公斤。 |
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